MEMS微机电系统

    MEMS微机电系统（ Micro-Electro-Mechanical System）是以半导体制造技术为基础发展起来的先进的制造技术平台。它是一个独立的智能系统，主要由传感器、执行器和微能源三大部分组成。MEMS技术是典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。MEMS系统尺寸通常在毫米或微米级，最初应用于汽车安全系统，现在广泛应用于消费电子、汽车工业、工业控制乃至生物医学、航空航天等领域，并扮演越来越重要的角色。
    中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件。近期国务院发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》中明确指出，将重点建设集成电路产业链，加快MEMS和物联网等新兴领域的核心技术研发，这无疑为中国MEMS及物联网产业的发展注入了强心剂。